栏目导航
Navigation

期刊信息
Navigation

刊名：兰州石化职业技术学院学报
曾用名：教学研究
主办：兰州石化职业技术学院
主管：甘肃省教育厅
ISSN：1671-4067
CN：62-1168/G4
语言：中文
周期：季刊
影响因子：0.213115
被引频次：4059
期刊分类：职业教育

现在的位置：主页 > 期刊导读 >

2019高功率脉冲磁控溅射沉积薄膜技术与应用会

来源：兰州石化职业技术学院学报 【在线投稿】 栏目：期刊导读 时间：2020-10-02

【作者】网站采编

【关键词】

【摘要】:高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)作为一种利用高脉冲峰值功率和低脉冲占空比实现高离化率的溅射沉积薄膜新技术,可以控制膜层的微结构、降低膜层内应力、提高膜层致密度和膜基结合

高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)作为一种利用高脉冲峰值功率和低脉冲占空比实现高离化率的溅射沉积薄膜新技术,可以控制膜层的微结构、降低膜层内应力、提高膜层致密度和膜基结合力、获得性能优异的薄膜,在国内外研究领域和工业界受到了广泛关注和重视。



文章来源：《兰州石化职业技术学院学报》 网址: http://www.lzzyxyxb.cn/qikandaodu/2020/1002/422.html


上一篇：西北河谷城市贫困住区的空间分布特征 ——以
下一篇：兰州石化裂解炉结焦抑制剂项目投用